Elektronik-Unit Pemisahan Udara Kriogenik Kelas

Unit ini memasok-O₂, N₂, dan Ar (gas/cair) dengan kemurnian tinggi untuk semikonduktor, fotovoltaik, dan bahan kimia elektronik. Desain inti: perbaikan-keadaan stabil dan penghilangan pengotor jejak dalam unit pemisahan udara kriogenik-tingkat elektronik, memastikan gas umpan memenuhi batas industri yang ketat untuk total hidrokarbon, CO₂, kelembapan, dan kontaminan lainnya.

Kirim permintaan

Obrolan Sekarang

perkenalan produk

Unit ini dirancang untuk menyuplai-oksigen gas/cair, nitrogen, dan argon dengan kemurnian tinggi untuk fabrikasi semikonduktor, manufaktur fotovoltaik, dan produksi bahan kimia elektronik. Inti dari desainnya terletak pada kontrol perbaikan kondisi tunak dan kemampuan menghilangkan pengotor jejak dari unit pemisahan udara kriogenik tingkat elektronik, memastikan bahwa gas umpan memenuhi ambang batas ketat yang diberlakukan oleh industri elektronik untuk total hidrokarbon, CO₂, kelembapan, dan kontaminan lainnya.

Prinsip Dasar

Prosesnya mengikuti siklus Brayton terbalik. Udara yang telah dimurnikan sebelumnya didinginkan secara mendalam hingga kira-kira –170 derajat hingga –196 derajat , kemudian dilakukan beberapa langkah perbaikan dalam kolom pengepakan terstruktur, memanfaatkan perbedaan titik didih antara oksigen, nitrogen, dan argon. Melalui kontrol terkoordinasi dari katup pengatur presisi tinggi dan tugas panas kondensor overhead, kemurnian produk distabilkan pada tingkat kualitas elektronik. Sistem ini mengintegrasikan pemurnian-pra-adsorpsi saringan molekuler, pendinginan turbo-expander, dan insulasi kotak-dingin, sehingga unit pemisahan udara kriogenik kelas elektronik dapat beroperasi dengan konsumsi energi rendah yang berkelanjutan dalam jangka waktu lama.

Parameter Teknis (Rentang Desain Khas)

Parameter	Rentang / Nilai
Kemurnian produk	O₂ Lebih besar dari atau sama dengan 99,6% (kelas elektronik); N₂ Kurang dari atau sama dengan 1 ppm O₂; Ar Lebih besar dari atau sama dengan 99,999%
Laju aliran (Nm³/jam)	500 – 10.000 (tersedia kombinasi modular)
Suhu-kotak keluar dingin	–178 derajat hingga –192 derajat (disesuaikan per produk)
Konsumsi energi spesifik (kWh/Nm³ O₂)	0,38 – 0,52 (termasuk kompresor dan kehilangan dingin)
Waktu-mulai dingin	Kurang dari atau sama dengan 6 jam
Jam operasional tahunan	Lebih besar dari atau sama dengan 8.000

Laju aliran dan kemurnian berbanding terbalik; pencocokan akhir didasarkan pada-komposisi udara umpan dan persyaratan tekanan pengguna.

Kisaran Suhu dan Kinerja Energi

Perbedaan suhu terminal penukar panas utama: Kurang dari atau sama dengan 3 derajat pada rentang beban penuh.
Suhu dasar kolom bawah: –170 derajat hingga –175 derajat ; suhu atas kolom atas: –192 derajat hingga –196 derajat .
Konsumsi energi secara keseluruhan sekitar 12–18% lebih rendah dibandingkan unit-kelas industri konvensional, hal ini terutama disebabkan oleh peningkatan-efisiensi tinggi turbo-expander dan pengurangan penurunan tekanan kolom-kemasan. Kehilangan suhu dingin dipertahankan di bawah 5% dari total kapasitas pendinginan, hal ini sangat menguntungkan di wilayah dengan biaya listrik yang tinggi.

Komponen Inti dan Kehidupan Layanan

Kondensor utama: paduan aluminium 5052 atau baja tahan karat 304L (tahan terhadap korosi tegangan).
Pengepakan: pengepakan terstruktur bergelombang berefisiensi tinggi-dengan luas permukaan spesifik lebih besar dari atau sama dengan 500 m²/m³.
Saringan molekuler: 13X-Kelas APG, masa pakai yang dirancang Lebih dari atau sama dengan 6 tahun.

Aplikasi Industri

Unit ini melayani pabrik wafer sirkuit terpadu,-pabrik display panel datar, operasi penarikan ingot fotovoltaik, manufaktur serat optik, dan stasiun pengisian bahan bakar khusus, yang menyediakan-pembangkitan gas atau pasokan pipa di lokasi. Ini mengakomodasi fluktuasi-tekanan udara umpan dan suhu sekitar, dengan kemampuan perubahan-beban yang cepat (30% hingga 110%). Ketergantungan pada pengangkutan tanker cair eksternal dihilangkan, sehingga mengurangi risiko kontaminasi selama logistik.

Sistem Keamanan dan Pengendalian

DCS terintegrasi dengan Sistem Instrumen Keselamatan (SIS) terpisah untuk pemantauan hidrokarbon dan titik embun secara berkelanjutan.
Penganalisis asetilena online bawaan untuk oksigen cair, dengan logika peniupan otomatis dan penghentian darurat.
Annulus kotak{0}}dingin diisi dengan perlit dan dilindungi oleh selimut nitrogen.

Pemeliharaan dan Tata Letak Modular

Kotak pendingin utama-yang dipasang di selip disusun terpisah dari bagian pra-pemurnian untuk mempersingkat-waktu pemasangan di lokasi. Semua sambungan instrumen dilengkapi dengan katup blok ganda untuk memfasilitasi kalibrasi online. Antarmuka diagnostik jarak jauh disediakan untuk pemantauan parameter operasional dan peringatan pemeliharaan preventif.

Seleksi dan Konfigurasi Tambahan

Saat mendefinisikan sistem, harap tentukan-tekanan udara umpan, jenis dan kemurnian produk target, serta profil muatan harian. Jika diperlukan argon dengan kemurnian-tinggi atau nitrogen dengan kemurnian-sangat tinggi-( Kurang dari atau sama dengan 0,1 ppm O₂), kolom deoksidasi atau tahap pemurnian adsorpsi tambahan dapat digunakan. Disarankan untuk menyediakan ruang untuk perluasan kapasitas di masa depan.

Shenger Gas berspesialisasi dalam teknologi pemisahan kriogenik. Unit pemisahan udara kriogenik tingkat elektronik-dikonfigurasi dari perpustakaan desain standar, memungkinkan penyelarasan proses yang cepat dengan persyaratan aliran dan kemurnian yang ditentukan pengguna. Tata letak perpipaan-kotak dingin-khusus proyek diadopsi untuk menjaga integritas mekanis dan keseimbangan termal. Ringkasan teknik untuk konsumsi energi, jejak kaki, dan indikator investasi tersedia berdasarkan ketentuan pengoperasian.